Técnicas y equipos del Área de Caracterización Eléctrica en Oblea

El área de caracterización eléctrica en oblea se encarga de medir y analizar las propiedades eléctricas de dispositivos semiconductores para evaluar su rendimiento, uniformidad y calidad en la fabricación de circuitos integrados.

Técnicas

  • Medidas de DC y Parámetros Básicos
  • Caracterización de Alta Frecuencia
  • Medidas de Ruido y Confiabilidad
  • Caracterización en Condiciones Extremas

Equipos

Sistema de test paramétrico

  • Estación de test paramétrico semiautomática, basada en una máquina de puntas semiautomática Süss Microtech PA200 y un sistema de test paramétrico Agilent 41000. Tiene 4 unidades SMU, un medidor de CV y una matriz de conmutación. La conexión a la oblea se realiza mediante carta de puntas

Mesas de puntas

Hay disponibles cuatro máquinas de puntas automáticas:

  • MPI TS2000-SE
  • Wentworth AWP 1050 (disponible dentro de Sala Blanca)
  • KarlSüss PA200
  • MPI TS2000-SE térmica (-40 ºC hasta 300 ºC)
     

Se pueden contactar en oblea o chip mediante micro manipuladores o carta de puntas.

Equipo de medición en obleas de uso general

Estas mesas de puntas se pueden utilizar juntamente con los equipos de medida eléctrica disponibles:

  • Analizadores de parámetros semiconductores:
    • Keysight B1500
    • HP4155B
    • 2 Keithley 4200 (los dos incluyen 4 SMU y uno con módulo CV)
  • Equipos de medida de CV
    • Keysight E4990
    • HP4280A
    • HP4192A
  • Equipos auxiliares pequeños: 
    • Keithley 2600
    • Keithley 2470

Capacidades disponibles

Medidas de DC y Parámetros Básicos

  • Fuente-Medidor (SMU - Source Measure Unit) – Permite medir corriente y voltaje simultáneamente.
  • Curvas I-V (Corriente-Voltaje) – Para caracterizar transistores, diodos y resistencias.
  • Curvas C-V (Capacitancia-Voltaje) – Para evaluar la calidad del óxido y dopaje.
  • Medida de Resistencia de Hojas (Four-Point Probe) – Para medir resistividad de capas delgadas.

 

Caracterización de Alta Frecuencia

  • Análisis de Impedancia y Admitancia – Medidas con analizadores de impedancia para caracterizar dispositivos pasivos.
  • S-Parameters con VNA (Vector Network Analyzer) – Para evaluar dispositivos de RF y microondas.

 

Medidas de Ruido y Confiabilidad

  • Medición de Ruido 1/f (Ruido de Flicker) – Para evaluar la calidad del material y defectos.
  • Pruebas de Tiempo de Vida y Fiabilidad (TDDB, BTI, HCI) – Para estimar la degradación en dispositivos MOSFET.

 

Caracterización en Condiciones Extremas

  • Probing a Baja Temperatura (hasta -40ºC) – Para estudios de semiconductores a bajas temperaturas.
  • Medidas a Alta Temperatura (Hot Chuck hasta 300ºC) – Para evaluar comportamiento térmico de dispositivos.

Descarga las técnicas y capacidades del Área de Caracterización Eléctrica en oblea

Área de Caracterización eléctrica

Personal de Caracterización Eléctrica en oblea

  • Sergi Sánchez (ext. 435558)
  • Mónica Sarrión (ext. 435581)