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Sala Blanca de Micro y Nanofabricación

La Sala Blanca de Micro y Nanofabricación Integrada (SBCNM) es una Infraestructura Científica y Técnica Singular (ICTS) dedicada al desarrollo y aplicación de tecnologías innovadoras en el campo de la Microelectrónica junto con otras Micro y Nanotecnologías emergentes.

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La Sala Blanca de Micro y Nanofabricación es una instalación de acceso abierto que tiene como objetivo ayudar a los grupos de investigación nacionales e internacionales a realizar actividades de I+D+i. Todo es posible gracias a la disponibilidad de un conjunto completo de micro y nanotecnologías y procesos alojados en un entorno de Sala Blanca altamente especializado, dedicado a I+D+i de excelencia e impulsado por un equipo experto. Dicho apoyo va desde el conocimiento de la tecnología hasta el desarrollo de demostradores básicos o pequeñas series de prototipos.

Las micro y nano tecnologías habilitadoras son consideradas por la Comisión Europea como tecnologías disruptivas de naturaleza horizontal que son clave para muchas aplicaciones industriales y sociales vitales para el mantenimiento de puestos de trabajo en Europa (la microelectónica y la nanotecnología son parte del concepto de Tecnologías Habilitadoras Clave -KET-). El abanico de aplicaciones que se pueden cubrir en la Sala Blanca es muy amplio, incluyendo aplicaciones biomédicas, medio ambiente, alimentación, energía y movilidad, seguridad, comunicaciones y electrónica de consumo, etc. Las principales implementaciones de los últimos años en la Sala Blanca han sido en las siguientes familias principales de dispositivos:

  • Dispositivos semiconductores, incluidos dispositivos de potencia y detectores de radiación;
  • Sensores, actuadores y MEMS;
  • Dispositivos y actuadores a nanoescala;
  • Sistemas Lab-on a chip; y dispositivos de polímero.

MicroNanoFabs es una red de Salas blancas dedicadas a la micro y nano fabricación, de la que la Sala blanca del IMB-CNM forma parte.

La Sala Blanca del IMB-CNM incluye equipos para procesos de micro y nanofabricación basados principalmente en tecnologías de silicio para obleas de 100 mm y 150 mm, pero también pueden funcionar con sustratos de diferentes materiales y tamaños según la demanda. Su estructura permite un funcionamiento flexible, lo que lo hace especialmente adecuado para I+D+i.

La Sala Blanca de Micro y Nanofabricación es una infraestructura abierta accesible a la comunidad científica e industrial nacional e internacional.

Se ha desarrollado un proceso de fabricación con tecnología de nitruro de silicio en colaboración entre el IMB-CNM y VLC Photonics, que proporciona una plataforma de fabricación de fotónica estable y escalable con un kit de diseño de proceso maduro y bibliotecas de componentes.

Datos

1500
m2 de superficie
190
equipos de proceso
2000
obleas/año
5-7
ISO class (100-10,000)
Sala Blanca IMB-CNM MICRONANOFABS 2016
https://www.youtube.com/watch?v=i_TgEeThWRw&feature=emb_title