NANOINTEGRA: Ampliando los límites de la integración de dispositivos nanoelectromecánicos Imagen Imagen Funding agency MINECO, Spain. Cofunding Fondos FEDER Reference TEC2015-69864-R (MINECO/FEDER, UE). Period Vie, 01/01/2016 - 12:00 - Mar, 31/12/2019 - 12:00 P.I. at IMB-CNM Bausells Roigé, Joan / Pérez Murano, Francesc