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Servicio de Caracterización Eléctrica en oblea

Las principales actividades de este servicio son:

  1. Test paramétrico
  2. Diseño y caracterización de estructuras de test
  3. Configuración de nuevas técnicas de medición en obleas
  4. Caracterización de dispositivos electrónicos

Equipo

Sistema de test paramétrico

Estación de test paramétrico semiautomática, basada en una máquina de puntas semiautomática Süss Microtech PA200 y un sistema de test paramétrico Agilent 41000. Tiene 4 unidades SMU, un medidor de CV y una matriz de conmutación. La conexión a la oblea se realiza mediante carta de puntas.

Equipo de medición en obleas de uso general

Hay disponibles tres máquinas de puntas semiautomáticas (MPI TS2000-SE, Wentworth AWP 1050 y KarlSüss PA200). La oblea puede contactarse tanto con micromanipuladores como con carta de puntas. Se pueden utilizar junto con el equipo de medición eléctrico disponible en el laboratorio: cuatro analizadores de parámetros de semiconductores (Keysight B1500, HP4155B y dos Keithley 4200, ambos incluidos 4 SMU y un Keithley 4200 con un módulo CV), equipo de medición de CV (Keysight E4990, HP4280A y HP4192A) y otros pequeños equipos auxiliares. También hay disponible una máquina de puntas con chuck térmico (Micromanipulator 4060).

Contacto