La Sala Blanca de l'IMB-CNM torna a la normalitat després de l'aturada programada de manteniment i l'arribada de nous equips

La Sala Blanca de Micro i Nanofabricació de l'IMB-CNM, reconeguda com Infraestructura Científica i Tècnica Singular (ICTS) pel Ministeri de Ciència i Innovació, està recuperant aquests dies el funcionament normal de les seves unitats i equips. Els equips de manteniment de la sala fan una parada periòdica de la producció per revisar el funcionament dels serveis i dels equips, així com per procedir a la col·locació de nova instrumentació. La pausa de tota activitat és necessària per al correcte funcionament de la instal·lació la resta de l'any.

L'espai, 1.500 metres quadrats amb prop de 170 equips de procés en actiu, passa per diverses fases fins a recuperar la normalitat total de la producció en el centre d'investigació. La Sala Blanca és una instal·lació única al sud d'Europa per les seves característiques, on es pot treballar en escales micro i nanomètriques per fer recerca en tecnologies de silici i altres materials semiconductors.

Revisió de l'estació transformadora

El primer pas és la parada i revisió de l'estació transformadora, que obliga al cessament total de l'activitat i al tancament total del centre durant un dia. Es necessita realitzar un tall total en el subministrament elèctric de l'institut per a realitzar les diferents tasques de revisió i aprofitar per fer el manteniment del subsistema elèctric, que no es pot executar mentre el centre funciona amb normalitat. És un procés habitual i periòdic en sales blanques d'aquestes magnituds.

"Després de la parada es restableixen els serveis necessaris de centre i s'aprofita per substituir els elements elèctrics que necessitin una actualització", assenyala Ana Sánchez Amores, responsable de millora contínua de la ICTS.

La parada ha permès substituir el magneto-tèrmic general de la part antiga de l'edifici, necessari per tancar el pas de subministrament a tota aquesta zona, i s’han renovat els automatismes de control i canvi de la xarxa elèctrica i el grup electrogen de la zona nova de Sala Blanca ("zona nova" és el nom amb el qual es distingeix l'ampliació de 500 metres quadrats que es va realitzar entre 2007 i 2009).

Tasques de manteniment de les instal·lacions i els equips

Durant la setmana de cessament total de l'activitat, la primera d'agost, es realitzen tasques de manteniment preventiu i correctiu dels serveis i instal·lacions. El personal encarregat revisa la climatització, els circuits d'aigua de refrigeració, els sistemes de subministrament de gasos de procés, els subsistemes de generació d'aire comprimit, els sistemes anti-incendis i la xarxa dels detectors de gasos, entre d'altres. Aquest any també s'ha procedit al canvi de filtres dels climatitzadors i s'han revisat les corretges i greixatge dels coixinets, entre altres coses.

El manteniment dels equips de procés de Sala Blanca és necessari per verificar que tot funciona correctament, detectar anomalies i resoldre-les. En aquest tipus d'instruments, una desviació de menys d'una micra ja suposa una deficiència. Després de les accions correctives, els equips es tornen a posar en marxa per tenir-los operatius en la data d'inici de producció. La casuística en les necessitats dels diferents equips és gran. Alguns no poden estar aturats durant molt de temps, és el cas de diversos equips de nanolitografia (EBL, AURIGA o FIB), que s'han de posar en marxa i deixar en stand by després de la parada per no perdre l'alt buit de les columnes acceleradores d'electrons.

La neteja dels equips també entra en les tasques programades per a les pauses d'activitat. Algunes de les accions específiques inclouen la neteja i aspiració de forns, el decapat d'oblies i peces de quars, el condicionament de pantalles amb processos test i les neteges clorades dels tubs de quars. Aquestes tasques solen durar unes tres setmanes.

Divisió per cada àrea de procés

Les accions es distribueixen en cada àrea i sempre es testegen els processos d'execució de cada equip després de les actuacions. S'aprofita també per provar i desenvolupar receptes en els equips nous, com dipòsits de nous materials en l'Sputtering Kenosistec o gravats de silici en l'equip de DRIE Sentech.

Nous equips cofinançats amb fons FEDER

Les instal·lacions de la Sala Blanca compten amb nous equips ja instal·lats i en funcionament, gràcies als projectes MINATEC-PLUS 1 i 2, convenis signats entre el Ministeri de Ciència i Innovació i el CSIC per a l'aplicació de fons europeus (FEDER) a la ICTS.

Alguns d'ells estan gairebé plenament operatius, com la bateria de forns AFK de Tempress (un sistema amb 4 tubs horitzontals per a processos tèrmics de difusió i dipòsits LPCVD) o la nova alineadora automàtica de Suss (equip per fotolitografia de doble cara). Altres equips estan en procés d'instal·lació, com una cabina de diclorosilano, per donar servei als forns AFK, per a la qual ja s'ha fet la instal·lació elèctrica, les proves de validació i la posada a punt i actualment s'està treballant en la posada en servei d'un nou FIB de Zeiss.

Parada preventiva per continuar amb la investigació tot l'any

Tots els processos involucrats a la parada periòdica de la producció permeten programar un any sencer d'investigació en l'espai de sala. La pausa és necessària, ja que algunes tasques no es poden realitzar mentre el centre funciona amb normalitat.

A partir d'aquesta setmana, la Sala Blanca de l'IMB-CNM recupera la producció i torna a la investigació.

Més informació

• La Sala Blanca del Centre Nacional de Microelectrònica està ampliant els seus equipaments amb cofinançament de fons FEDER.
• Oferta tecnològica i capacitats de la Sala Blanca.

Galeria

• 01: Sputtering KS800-HR-1 que funciona amb el nou blanc. Imatge: Eva Céspedes.
• 02: Manteniment del forn. Imatge: Ricard Noy.
• 03: Instal·lació del nou FIB. Imatge: Albert Guerrero.
• 04: Cabina DCS Arcamo-Group. Imatge: Carles Mateu.
• 05: Personal tècnic que treballa a l'Univex 400. Imatge: Leyre Martínez.
• 06: Instal·lació del Sputtering KS800-HR-1. Imatge: Eva Céspedes.