Vés al contingut

Sala Blanca de Micro i Nanofabricació

La Sala Blanca de micro i nanofabricació (SBCNM) és una infraestructura científica i tècnica singular (ICTS) dedicada al desenvolupament i aplicació de tecnologies innovadores en el camp de la microelectrònica juntament amb altres micro i nanotecnologies emergents.

La Sala Blanca de micro i nanofabricació és una instal·lació d’accés obert que té l’objectiu d’ajudar els grups de recerca nacionals i internacionals a realitzar activitats d’R+D gràcies a la disponibilitat d’un conjunt de micro i nanotecnologies i processos complets ubicats en un entorn de sala neta altament especialitzat dedicat a la R+D d’excel·lència i impulsat per un equip expert. Aquest suport va des de la consciència tecnològica fins al desenvolupament de demostradors bàsics o petites sèries de prototips.


La Sala Blanca de micro i nanofabricació (SBCNM) és una de les instal·lacions científicotecnològiques principals designades pel Ministeri de Ciència i Innovació, que constitueix el ICTS MICRONANOFABS distribuït en tres nodes, juntament amb el NTC i l'ISOM


La Comissió Europea considera que les tecnologies habilitadores micro i nano són tecnologies pertorbadores de naturalesa horitzontal que són claus per a moltes aplicacions industrials i socials i que són vitals per al manteniment dels llocs de treball a Europa. La microelectrònica i la nanotecnologia formen part del concepte Key Enabled Technologies (KET's).


Les principals activitats s’han dirigit a:

  • Dispositius semiconductors, inclosos dispositius de potència i detectors de radiació;
  • Sensors, actuadors i MEMS;
  • Dispositius i actuadors a nanoescala;
  • Sistemes Lab-on a chip; i dispositius polimèrics.


La gamma d’aplicacions cobertes pels productes de dispositius ICTS-SBCNM és molt àmplia, incloent aplicacions biomèdiques, medi ambient, alimentació, energia i mobilitat, seguretat, comunicacions i electrònica de consum.

MicroNanoFabs és una xarxa de sales blanques dedicada a la micro i nanofabricació, on forma part la Sala Blanca de l'IMB-CNM.

La sala blanca de l'IMB-CNM inclou equips per a processos de micro i nanofabricació basats principalment en tecnologies de silici per a oblies de 100 mm i 150 mm, però també poden funcionar amb substrats de diferents materials i mides segons la demanda. La seva estructura permet un funcionament flexible, cosa que el fa especialment adequat per a R+D.

La sala blanca de micro i nanofabricació és una infraestructura oberta accessible per a la comunitat científica i industrial nacional i internacional.

S’ha desenvolupat un procés de fabricació de tecnologia de nitrur de silici en col·laboració entre l'IMB-CNM i VLC Photonics, que proporciona una plataforma de fabricació de fotònica estable i escalable amb un kit de disseny de processos madurs i biblioteques de components.

Dades clau

1500
m2 de superfície
190
equips de processos
2000
oblies/any
5-7
ISO class (100-10,000)
Sala Blanca IMB-CNM MICRONANOFABS 2016
https://www.youtube.com/watch?v=i_TgEeThWRw&feature=emb_title