Tornada a la normalitat a la Sala Blanca de l’IMB-CNM després de la parada anual per manteniment i l’arribada de nous equips

La Sala Blanca és una instal·lació d’accés obert única al sud d’Europa per les seves característiques, on es pot treballar en escales micro i nanomètriques per fer recerca en tecnologies de silici i altres materials semiconductors. El ventall d’aplicacions que cobreix és molt ampli, incloent-hi aplicacions biomèdiques, medi ambient, alimentació, energia i mobilitat, seguretat, comunicacions i electrònica de consum.

Una infraestructura d’aquestes característiques requereix un manteniment periòdic per assegurar un correcte funcionament de la instal·lació durant tot l’any, que comporta una parada total de l’activitat de microfabricació durant diversos dies. La direcció de la sala programa, juntament amb el personal de manteniment, una interrupció de la producció per revisar el funcionament de les unitats de serveis i dels equips de procés. És un moment on també s’aprofita per instal·lar i posar a punt nou equipament. L’espai, 1.500 metres quadrats amb prop de 170 equips de procés en actiu, passa per diverses fases fins a recuperar la normalitat total de la producció.

La Sala Blanca de Micro i Nanofabricació de l’IMB-CNM, reconeguda como a Infraestructura Científica i Tècnica Singular (ICTS) pel Ministeri de Ciència i Innovació, forma part de l’actual mapa espanyol d’ICTS integrat per 29 estructures que aglutinen un total de 62 instal·lacions distribuïdes per tot el territori nacional.

Tasques de manteniment de les instal·lacions i els equips

Durant la primera setmana del mes d’agost, es va procedir a la revisió de l’estació transformadora de la Sala Blanca i el manteniment i la revisió general dels serveis de tota la instal·lació.

Revisar l’estació transformadora obliga el cessament total de l’activitat i el tancament del centre durant un dia, ja que requereix un tall del subministrament elèctric. L’equip de manteniment (on col·labora personal d’enginyeria, tècnic i manteniment), també aprofita per comprovar el subsistema elèctric i fer renovacions i millores dels seus components. És un procés habitual i periòdic a les sales blanques d’aquestes magnituds.

En els dies successius es realitzen tasques de manteniment preventiu i correctiu dels serveis i les instal·lacions. El personal tècnic encarregat revisa els climatitzadors de les diferents zones de la sala i els sistemes de producció de fred, els circuits d’aigua de refrigeració, els sistemes de subministrament de gasos de procés, els subsistemes de generació d’aire comprimit, els sistemes antiincendis i la xarxa de detectors de gasos, entre d’altres.

El manteniment dels equips de procés és necessari per verificar que tot funcioni correctament, detectar o resoldre anomalies i desviacions de les especificacions (mecàniques, òptiques, de velocitats...). En aquest tipus d’instruments, una desviació de menys d’1 micra suposa una deficiència. També s’aprofita la parada per renovar components i subsistemes. Després de les accions correctives, els equips es tornen a posar en marxa per tenir-los operatius a la data d’inici de producció.

La neteja dels equips, espais i zones de treball és molt important també en les tasques programades per a les pauses d’activitat, com no pot ser altrament per a una sala blanca. Algunes de les accions específiques inclouen la neteja de parts i zones de manteniment dels equips i de les cambres de procés, la neteja i aspiració de forns i els seus tubs de quars, la neteja dels equips auxiliars (estufes, caixes de guants, chillers, bombes...), dels utensilis de transport i maneig de mostres, el decapat d’oblies i peces de quars, i el condicionament d’oblies de farciment. Aquestes tasques solen durar unes tres setmanes.

Nous equips cofinançats amb fons FEDER

Les instal·lacions de la Sala Blanca compten amb nous equips ja instal·lats i en funcionament, gràcies als projectes MINATEC-PLUS 1 (FICTS1420-02-18) i MINATEC-PLUS 2 (FICTS2019-02-40), convenis signats entre el Ministeri de Ciència i Innovació i el CSIC per a  l’aplicació de fons europeus (FEDER) a la ICTS.

Durant els mesos de juliol i agost s’ha procedit a la posada en funcionament de la segona cabina nova de diclorosil·là per a la bateria de forns LPCVD de línia CMOS (AFU) i a la realització dels primers processos –de test- de dipòsit de nitrur LPCVD al forn T10 de l’AFU. Aquesta tecnologia contribuirà a reforçar la línia de fotònica integrada de l’IMB-CNM.

Actualment, s’està treballant per poder instal·lar un forn de soldadura de components per refusió i per fer una modificació del sistema de refrigeració dels compressors.

Actiu estratègic per al desplegament del PERTE de microelectrònica i semiconductors

L'IMB-CNM i la seva Sala Blanca són considerats un actiu estratègic al Projecte Estratègic per a la Recuperació i Transformació Econòmica (PERTE Chip) estatal, com a node principal de la ICTS Micronanofabs. L’institut posa a disposició del Govern la seva experiència en el disseny i la fabricació de dispositius i sistemes electrònics, així com la seva capacitat de formació d’estudiants i professionals en aquestes àrees.

El passat mes de maig, el Consell de Ministres va aprovar el PERTE Chip amb l’objectiu de desenvolupar de manera integral les capacitats de disseny i de fabricació dels xips de la indústria espanyola de microelectrònica i semiconductors. Aquest és un dels projectes més ambiciosos del pla de recuperació amb una quantia de 12.250 milions d’euros d’inversió pública.

El primer eix suposa el reforç de la capacitat científica, el segon fa referència a l’estratègia de disseny, el tercer eix s’orienta a la construcció de plantes de fabricació a Espanya amb capacitat tant superior com inferior als 5 nanòmetres i el quart implica la dinamització de la indústria de fabricació de Tecnologies de la Informació i Comunicació europees.

L’impacte del PERTE Chip suposarà una transformació per a la indústria i una gran contribució a l’autonomia d’Espanya i de la Unió Europea en matèria tecnològica.