Grup de NEMS i Nanofabricació (NANONEMS)
El grup explora les propietats electròniques i electromecàniques de les nanoestructures que poden proporcionar funcions noves o millorades als nanodispositius i nanosistemes. També realitza investigacions i desenvolupament de mètodes avançats de nanofabricació, preferentment aquells que es poden aplicar a dispositius utilitzats en sistemes integrats miniaturitzats. Aquestes activitats cobreixen dues de les tecnologies clau habilitadores (KETs): la nanotecnologia i la micro-nanoelectrònica.
Persona de contacte
More info
Mètodes avançats de nanofabricació
Es basen en i) tècniques top-down (litografies avançades, litografia de feix d’electrons, feix d’ions focalitzat, litografia de nanoimpremta) i ii) tècniques bottom-up (autoassemblatge dirigit de copolímers de bloc), juntament amb processos de dipòsit i gravat de materials. L’objectiu final és salvar la bretxa que existeix actualment entre els processos de nanofabricació a nivell de prototip i la tecnologia necessària per a aplicacions en línies pilot en micro / nano electrònica.
Dispositius nanoelectrònics
Estudi de dispositius nanoelectrònics i les seves aplicacions com a elements de circuits i sensors En els darrers anys l’activitat s’havia enfocat al desenvolupament de dispositius d’un sol electró (single-electron transistor, SET) per a sistemes electrònics miniaturitzats amb un consum d’energia molt baix. Sobre aquesta base, l’activitat actual s’orienta cap el desenvolupament de tecnologies per a la fabricació de qubits de spin basats en silici per a computació quàntica. En el camp dels dispositius sensors, continuarà la col·laboració existent amb grups de recerca externs en el camp de la integració de micro i nanodispositius sensors per a aplicacions en biomedicina.
Sistemes nanoelectromecànics (NEMS)
Estudi de NEMS, típicament estructures de pont o bigues voladisses (cantilevers), y específicament desenvolupament de mètodes de fabricació, de transducció, integració de sistemes i aplicacions.
Mètodes AFM avançats
Es manté una certa activitat en el desenvolupament de mètodes avançats de caracterització amb AFM. L'objectiu és disposar de mètodes per obtenir informació sobre propietats funcionals a escala nanomètrica, necessàris tant per a la investigació realitzada pel grup com per a col·laboracions amb altres grups de recerca i indústries.
