NANOINTEGRA: Ampliando los límites de la integración de dispositivos nanoelectromecánicos Imatge Imatge Funding agency MINECO, Spain. Cofunding Fondos FEDER Reference TEC2015-69864-R (MINECO/FEDER, UE). Period dv., 01/01/2016 - 12:00 - dt., 31/12/2019 - 12:00 P.I. at IMB-CNM Bausells Roigé, Joan / Pérez Murano, Francesc