Tècniques i equips de l'Àrea de Caracterització Elèctrica en Oblia

L'àrea de caracterització elèctrica en oblia s'encarrega de mesurar i analitzar les propietats elèctriques de dispositius semiconductors per a avaluar el seu rendiment, uniformitat i qualitat en la fabricació de circuits integrats.

Tècniques

  • Mesures de DC i Paràmetres Bàsics
  • Caracterització d'Alta Freqüència
  • Mesures de Soroll i Confiabilitat
  • Caracterització en Condicions Extremes

Equips

Sistema de test paramètric

  • Estació semiautomàtica de test paramètric, basada en una màquina de puntes semiautomàtica Süss Microtech PA200 i un sistema de test paramètric Agilent 41000. Té 4 unitats SMU, un mesurador de CV i una matriu de commutació. La connexió a l'oblia es realitza mitjançant carta de puntes

Taules de puntes

Hi ha disponibles quatre màquines de puntes automàtiques:

  • MPI TS2000-SE
  • Wentworth AWP 1050 (disponible dins de Sala Blanca)
  • KarlSüss PA200
  • MPI TS2000-SE térmica (-40 ºC fins a 300 ºC)
     

Es poden contactar en oblia o xip mitjançant micro manipuladors o carta de puntes.

Equip de mesura en oblies d'ús general

Aquestes taules de puntes es poden utilitzar juntament amb els equips de mesura elèctrica disponibles:

  • Analitzadors de paràmetres semiconductors:
    • Keysight B1500
    • HP4155B
    • 2 Keithley 4200 (els dos inclouen 4 SMU i un amb mòdul CV)
  • Equips de mesura de CV
    • Keysight E4990
    • HP4280A
    • HP4192A
  • Equips auxiliars petits:
    • Keithley 2600
    • Keithley 2470

Capacidades disponibles

Mesures de DC i Paràmetres Bàsics

  • Font-Mesurador (SMU - Source Measure Unit) – Permet mesurar corrent i voltatge simultàniament.
  • Corbes I-V (Corrent-Voltatge) – Per a caracteritzar transistors, díodes i resistències.
  • Corbes C-V (Capacitancia-Voltatge) – Per a avaluar la qualitat de l'òxid i dopatge.
  • Mesura de Resistència de Fulles (Four-Point Probe) – Per a mesurar resistivitat de capes primes.

 

Caracterització d'Alta Freqüència

  • Anàlisi d'Impedància i Admitancia – Mesures amb analitzadors d'impedància per a caracteritzar dispositius passius.
  • S-Parameters amb VNA (Vector Network Analyzer) – Per a avaluar dispositius de RF i microones.

 

Mesures de Soroll i Confiabilitat

  • Mesura de Soroll 1/f (Soroll de Flicker) – Per a avaluar la qualitat del material i defectes.
  • Proves de Temps de Vida i Fiabilitat (TDDB, BTI, HCI) – Per a estimar la degradació en dispositius MOSFET.

 

Caracterització en Condicions Extremes

  • Probing a Baixa Temperatura (fins a -40 °C) – Per a estudis de semiconductors a baixes temperatures.
  • Mesures a Alta Temperatura (Hot Chuck fins a 300 °C) – Per a avaluar comportament tèrmic de dispositius.

Descarrega les tècniques i capacitats de l'Àrea de Caracterizació Elèctrica en oblia

Área de Caracterización eléctrica

Personal de Caracterizació Elèctrica en oblia

  • Sergi Sánchez (ext. 435558)
  • Mónica Sarrión (ext. 435581)