By Sara Durán and Ricard Noy (Thermal Processes Area of the Micro and Nanofabrication Clean Room).
This presentation is organized within a series of talks about the Micro and Nanofabrication Clean Room and its areas. #ICTSnews
Get in touch with us for the link: sabela.rey@imb-cnm.csic.es.
About the talk
Se realizará una pequeña revisión de la trayectoria del Área de Procesos Térmicos desde sus inicios en la Sala Blanca de Micro y Nanofabricación del IMB-CNM (CSIC) hasta nuestros días.
Posteriormente se explicará en profundidad las técnicas, equipos, procesos y etapas que se encuentran activos actualmente en el área.
Por último, se presentarán los planes de futuro, que se centrarán tanto en la mejora del equipamiento actual, así como en la adquisición de nuevos equipos a través del PERTE chip y otros proyectos.
About the speakers
Sara Durán es la responsable del Área de Procesos Térmicos de la Sala Blanca de Micro y Nanofabricación del IMB-CNM (CSIC) desde el año 2015. Además de la gestión del área, es la responsable de los equipos asociados al desarrollo y optimización de los procesos de oxidación del silicio, difusión térmica, deposición química a baja presión y deposición de espesores atómicos.
Ricard Noy es ingeniero de procesos del Área de Procesos Térmicos de la Sala Blanca de Micro y Nanofabricación del IMB-CNM (CSIC) desde el año 2016. Además de desarrollar y optimizar los procesos de oxidación del silicio, difusión térmica y deposición química a baja presión, es responsable de los equipos y procesos de deposición química de vapor asistidos por plasma.
