By Marta Duch Llobera (Microsystems Lab of the Micro and Nanofabrication Clean Room).
This presentation is organized within a series of talks about the Micro and Nanofabrication Clean Room and its areas. #ICTSnews
Get in touch with us for the link: sabela.rey@imb-cnm.csic.es.
About the talk
En la charla se hará una pequeña evolución del laboratorio de Microsistemas desde su creación en 1994 hasta la actualidad. Se presentaran los procesos y equipamientos disponibles actualmente y las futuras adquisiciones. Además se hará referencia a los equipos abiertos al autoservicio y como funciona esta modalidad en el laboratorio.
About the speaker
Marta Duch Llobera obtuvo el título de Ingeniería Química en 1992 en la Universidad politécnica de Barcelona y en 1994 se incorporó al Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM). Su función principal fue la puesta en marcha del laboratorio de Microsistemas dedicado a los procesos de fabricación de microsistemas como sensores o actuadores. Con el paso de los años el laboratorio se incorporó a las áreas de proceso de fabricación de la Sala Blanca de la ICTS, y actualmente es la responsable de la misma.
Sus principales áreas de trabajo se centran en los procesos y post-procesos enfocados a la fabricación de microsistemas como son micromecanizado de silicio en volumen y superficie, micromecanizado de vidrio, técnicas de soldadura silicio-vidrio, silicio-silicio y eutéctica y deposición de metales por técnicas químicas (Electroless) y electroquímicas. Desde hace 20 años forma parte del grupo de investigación de Micro y Nano herramientas dedicado a la fabricación dispositivos intra celulares para el estudio de células vivas. Además, colabora activamente con diferentes grupos de investigación del instituto.
