|
Las instalaciones de la Sala Blanca y los servicios complementarios del IMB-CNM son especialmente adecuados para proyectos de I+D debido a la flexibilidad de sus procesos.
Las infraestructuras principales del IMB-CNM son la Sala Blanca Integrada de Micro y Nanofabricación y algunos laboratorios complementarios para procesado de microsistemas, encapsulado de dispositivos y caracterización eléctrica. En conjunto, este equipamiento está considerado como una "Infraestructura Científica y Tecnológica Singular" (ICTS) por el Ministerio de Ciencia e Innovación. Descargar un folleto (en inglés) describiendo la ICTS "Sala Blanca Integrada de Micro y Nanofabricación".  | La Sala Blanca del IMB-CNM incluye equipos para procesos de micro y nanofabricación basados en tecnología de silicio. Su estructura permite una operación flexible, lo que la convierte en especialmente adecuada para proyectos de I+D+i. Su actividad en el procesado y la caracterización de dispositivos de silicio está garantizada por la buena dotación de equipos junto a la gran experiencia y pericia del personal técnico. |
A pesar de esta flexibilidad, la organización, la gestión y los procedimientos de uso están bien establecidos y pueden considerarse prácticamente industriales. Estos procedimientos aseguran la calidad del proceso en términos de fiabilidad y repetición que son de vital importancia para los objetivos de formación e investigación. |  |
| Las tecnologías disponibles en la Sala Blanca no son un mero encadenamiento de procesos, sino tecnologías consolidadas que permiten obtener resultados reproducibles, con una fiabilidad y unos rendimientos de producción industrialmente homologables. Es importante la completitud de los procesos ofrecidos, que hace posible la existencia de tecnologías operativas, desde el diseño de dispositivos hasta su encapsulación y prueba, pasando por el proceso completo de fabricación. |
| La recientemente renovada Sala Blanca Integrada de Micro y Nanofabricación del IMB-CNM incluye un conjunto de equipos de nanofabricación. Esto permite la integración de nanolitografía con otros procesos de micro y nanofabricación para la obtención de nanoestructuras, nanodispositivos y nanosistemas, que pueden integrarse en microsistemas de silicio. |  |
 | El laboratorio de Microsistemas está específicamente diseñado para contener los procesos de micromecanización y sus herramientas de caracterización. Pone las tecnologías específicas para la fabricación de microsistemas a disposición de las comunidades académica e industrial. |
|
Equipamiento e ICTS
